MEMF2000x系列气体质量流量计 (Mass Flow Meter) 组成与原理

MEMF2000x系列气体质量流量计由传感器、本体、信号处理模块组成。

传感器采用CMOS半导体工艺制成微机电系统 (MEMS)构成。传感器根据热扩散原理设计, 芯片中央设加热器, 加热器的上下游分别配置热电堆, 热电堆附设基座测温体。加热器和热电堆的底部设有空腔, 可高效检测加热器的热量以及附近温度场的变化。加热元件导入恒定电流后, 其附近区域形成温度场。介质无流动时，上下游热电堆的温差为零，介质流动时，上下游温差发生变化，且温差数值与质量流量大小呈正相关关系，通过测量温差可反算出流体质量流量。传感器采用热扩散原理直接测量质量流量, 所以基本无需进行压力、温度补偿，而且热扩散原理应用缩小至毫米微米尺度, 因此该传感器具有精度高、量程宽、灵敏度高的特点。

流量计本体由主流道、测量流道、导向结构、过滤结构组成。经过理论计算、大量的数值仿真、实验室实验和现场实气测试验证完成设计。流道设计满足经济、高效、稳定、准确的测量目标。流道压损小、气流稳定、线性范围宽。

信号处理模块采用性能优良、可靠性高的DSP进行设计。集成数字化自适应信号处理技术, 可有效抑制随机误差。模块具有响应快、精度高、稳定性好的特点。提供便利的计量就地显示，根据需要可提供RS485，4-20mA，NBIOT等数字和模拟信号输出与数据远传。