特点
1. 质量流量计技术特点:新一代微机电(MEMS)技术,自适应信号处理技术,数值仿真技术设计。具有精度高、稳定性好、量程比宽、抗干扰、压损小。
2. 主要功能:流量数据采集/处理、记录/显示,满足就地、远程监测需求。 安装方便,维护简单。
3. 适用范围:氧气O2 / 氮气N2 / 氩气Ar / 天然气LNG 。通径DN3-DN20,压力0-2.5Mpa,温度 -20-80°C
4. 应用场合:医疗、制药、半导体生产工艺过程如扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入、以及真空镀膜、光纤熔炼等;实验室微反应装置, 混气配气系统, 毛细管测量气相色谱仪, 光纤制造工艺;石油化工、冶金、焊接等过程控制。
MEMS0600系列微机电质量流量计 (MEMS Mass Flow Meter) 由传感器、本体、信号处理模块组成。
传感器是用CMOS半导体工艺制成微机电系统 (MEMS)。传感器根据热扩散原理设计, 芯片中央设加热器, 加热器的上下游分别配置热电堆, 热电堆附设基座测温体。加热器和热电堆的底部设有空腔, 可高效检测加热器的热量以及附近温度场的变化。加热元件导入恒定电流后, 其附近区域形成温度场。介质无流动时,上下游热电堆的温差为零,介质流动时,上下游温差发生变化,且温差数值与质量流量大小呈正相关关系,通过测量温差可反算出流体质量流量。传感器采用热扩散原理直接测量质量流量, 所以基本无需进行压力、温度补偿,而且热扩散原理应用缩小至毫米微米尺度, 因此该传感器具有精度高、量程宽、灵敏度高的特点。
流量计本体由主流道、测量流道、导向结构、过滤结构组成。经过理论计算、大量的数值仿真、实验室实验和现场实气测试验证完成设计。流道设计满足经济、高效、稳定、准确的测量目标。流道压损小、气流稳定、线性范围宽。
信号处理模块采用性能优良、可靠性高的DSP进行设计。集成数字化自适应信号处理技术, 可有效抑制随机误差。模块具有响应快、精度高、稳定性好的特点。提供便利的计量就地显示,根据需要可提供RS485,4-20mA,NBIOT等数字和模拟信号输出与数据远传。
基本功能:
瞬时流量显示 (可灵活设置流量单位), 累积总量显示(可灵活设置流量单位), 温度, 流量计状态监测, 传感器状态监测,用户根据使用习惯可灵活设置显示界面, 灵活选择介质 (空气、氧气、氮气、氩气等气体)。
高级功能:
可选配NB-IOT物联模块实现数据远传功能。实时记录瞬时流量、总量、支持U盘存取。记录瞬时流量的趋势曲线、统计量。
注:
流量读取基本功能可在质量流量计实现,高级功能需选配外接触摸屏监测器实现。
测量参数
介质压力(x 0.1MPa) | 02, 03, 04, 06, 08, 10 |
介质温度 | -40~85°C, 可定制-40~200°C |
流量范围 | 0.005SLPM ~ 250SLPM |
量程比 | 1:100 |
响应时间 | < 50 ms |
精度 | ±1.5% F.S. |
重复性 | < 0.25% F.S. |
灵敏度 | < 0.1% F.S. |
电气参数
流量计功耗 | < 0.3Watt |
电源 | 24VDC |
通讯 | RS485 |
机械参数
连接 | 1/8”, 3/8”, 1/2”, 3/4”卡套 |
安装 | 面板安装, 导轨安装 |
尺寸 | 102x147x30 |
重量 | 1.0Kg |
防护等级 | IP54 |
材质
测量管 | 不锈钢 |
壳体 | 不锈钢 |
密封 | 丁腈、乙烯、丙烯、全氟橡胶、氯丁橡胶、氟化橡胶 |
连接 | 不锈钢 |
MEMS06Axx-Bxx-Cxx-Dxx-Exx-Fxx-Gxx-Hxx
A 通径 (mm):DN03, 06, 08, 10, 15,20
B 适用介质:A空气, N氮气, O氧气, R氩气, C二氧化碳, xx订制
C 最大流量 (SLPM) :05, 10, 30, 100, 300,800
D压力(x 0.1MPa): 02, 04, 06. 08, 10
E输出通讯:01 数字量RS485, 02模拟量4~20mA, 03 NB-IOT
F本体材质:01铝合金, 02铜合金, 03 不锈钢SUS304, 04 不锈钢SUS316, 05 钛合金
G 连接:内螺纹NPT尺寸(1/8”, 3/8”, 1/2”, 3/4”)
H 安装方式:01 一体式安装, 02 分体式导轨安装, 03 分体式面板嵌入安装
选型实例:
MEMS0615-N-200-04-01-01-3/4-03
微纳热式智能质量流量计0600系列, A通径DN15, B介质为氮气, C最大流量200SLPM, D压力0.4MPa, E 数字量输出RS485, F本体材料为铝合金, G连接方式为标准NPT 3/4英寸内牙, H安装方式为面板嵌入式安装。
型号 |
管路连接螺纹尺寸 |
通径 (mm) |
长度(mm) |
宽度(mm) |
高度(mm) |
流量范围(SLM) |
MEMS0620T |
Female G3/4"内螺纹 |
20 |
88 |
38 |
116 |
20~1000 |
MEMS0615T |
Female G1/2"内螺纹 |
15 |
88 |
38 |
116 |
6~300 |
MEMS0610T |
Female G3/8"内螺纹 |
10 |
88 |
38 |
101 |
2~100 |
MEMS0610T |
Female NPT 3/8"内螺纹 |
10 |
88 |
38 |
101 |
2~100 |
MEMS0610T |
Male LOK 3/8" 双卡套外螺纹 |
10 |
124 |
38 |
101 |
2~100 |
MEMS0606T |
Female NPT1/4"内螺纹 |
6 |
88 |
38 |
101 |
1~50 |
MEMS0606T |
Male LOK 1/4" 双卡套外螺纹 |
6 |
124 |
38 |
101 |
1~50 |
MEMS0603T |
Female NPT1/8"内螺纹 |
3 |
88 |
38 |
101 |
0.04~2 |
MEMS0603T |
Male LOK 1/8" 双卡套外螺纹 |
3 |
124 |
38 |
101 |
0.04~2 |
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