唯量 MX8300 系列气体配比单元。利用该单元，用户通过触摸屏操作可完成气体精确配比混合。在适用量程范围内，配比单元的输出气体流量和气体配比率连续可调。气体配比浓度值实时显示(选配)，配比压力连续可调(选配)。采用工业触摸屏控制，性能稳定，人机界面友好。支持实时数据显示，历史数据趋势，报表输出。可选配 RJ45 通讯网口实现数据拓展，支持 MODBUS 标准通讯协议。外壳包括 5U 机箱，便携式。

MX8300 系列适用于 (1) 新能源行业的光伏材料工艺设备、锂电材料工艺设备、氢能燃料电池测试设备； (2) 半导体行业如半导体集成电路工艺设备、光纤加工设备，包括扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入、真空镀膜、光纤熔炼等生产工艺设备； (3) 生物医药装备如医疗和制药气体设备、实验室微反应装置、气体混合系统。

MX8300 系列气体配比单元用于二元以及多元气体配比。利用多通道高精度气体流量控制器 MFC 实现配比，气体流量控制器 MFC 控制精度在使用范围内不受介质压力和温度变化的影响。

MX8300 系列气体配比单元集成了 MEMS 微机电系统、数字信号处理、数值仿真等先进技术。其特点包括: 高灵敏度、高可靠性、大量程比、压损小、快速响应、无需预热、优异的零点和温度稳定性、支持小微流量测量等。

MFC 选用与美国半导体公司合作研发的流量传感元件以及高性能的主控元件，产品生产检验全过程严格执行质量控制，保证产品的精度和长期可靠性。