-
MEMC2300A系列质量流量控制器
- 1. 适用范围:氧气O2 / 氮气N2 / 氩气Ar / 天然气LNG等气体 。通径DN3-DN20,压力0-2.5Mpa,温度 -20-80°C
2. 技术特点:新一代微机电(MEMS)技术,自适应信号处理与控制技术,数值仿真技术设计。具有精度高、稳定性好、响应快的特点。
3. 主要功能:流量数据采集/处理、记录/显示,流速控制,时间控制,总流量控制。满足就地、远程监测与控制需求。 安装方便,维护简单。
4. 应用场合:医疗、制药、半导体生产工艺过程如扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入、以及真空镀膜、光纤熔炼等;实验室微反应装置, 混气配气系统, 毛细管测量气相色谱仪, 光纤制造工艺;石油化工、冶金、焊接等过程控制。 -
MEMC2300系列智能质量流量控制器 (Mass Flow Controller) 用于精准测量和控制气体介质的质量流量。通过就地设定或远程控制可使气体介质的质量流量按照工艺过程要求自动稳定在设定值上。质量流量基本不受压力和温度的影响, 具有精度高、重复性好的特点。质量流量控制器按照国家标准要求制造, 具有良好的兼容性和互换性。同时, MEMC2300系列智能质量流量控制器具备数据处理、记录、显示等相关功能, 还可实现NB-IOT物联远传功能。该控制器安装维护方便,包括底板安装和DIN导轨安装两种安装方式。
MEMC2300系列智能质量流量控制器主要应用于扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入、真空镀膜设备、光纤熔炼等光电半导体生产工艺,微反应装置、混气配气系统、毛细管测量气象色谱仪等试验室设备辔头。且可用于石油化工、冶金、焊接、家电制造、制药等行业过程控制。
MEMC2300系列智能质量流量控制器由质量流量计、比例电磁阀、信号处理与控制模块三个部分构成。
质量流量计由本体、传感器、信号处理与显示模块构成。
传感器采用CMOS半导体工艺制造而成的MEMS微机电芯片。流量测量工作原理采用热扩散原理, 芯片中央设加热器, 加热器的上下游两侧分别配置热电堆, 热电堆设测温元件。加热器和热电堆阵列的底部设有空腔, 可高效检测加热器的热量变化。加热元件导入恒定电流后, 其附近区域形成相应的温度场。介质流动使局部温度场重新分布, 因为温度场的变化与流体质量流量流速呈线性关系, 所以通过精确测量温度场可反算出流体质量流速。传感器应用热扩散原理, 直接测量质量流量, 基本无需压力、温度补偿,且将热扩散应用至微米尺度, 因此采用该传感器制造的质量流量计具有精度高、量程宽、灵敏、计量精准的特点。
流量计本体用于构造安全、准确的测量通道。而信号处理与显示单元用于处理传感器信号并将信号转换成用户需要的监测数据显示在LCD屏上。
比例电磁阀是电磁驱动的控制阀与流量计结合形成闭环流量控制系统,可以稳定、精确地控制气体流量。比例电磁阀是交、直流型供电的常闭阀, 磁滞低、重复性高、反应灵敏, 确保流量控制器良好的动态特性,且具有宽泛的Cv流量系数范围。采用弹性阀座密封件, 阀门可保证气密性关断截止。可提供整体式卡套接头用于安装阀组。
信号处理与控制模块与比例电磁阀、质量流量计形成闭环质量流量控制系统。该模块采用性能优良、可靠性高嵌入系统设计。集成了先进的自适应控制算法, 可以有效抑制测量数据随机误差,因此系统具有响应迅速、精度高、稳定性好的特点。
流量设定 | 在阀控状态下,设定范围为0~ 110% F.S. |
流量读取 | 读取设定瞬时流量、实时瞬时流量、流量总量。 |
吹扫状态 | 安装气路过程中清除管道内的异物,确保管路的清洁。(注:不支持长时间使用) |
截止关闭 | 实现管路关断功能。(注:不支持长时间使用) |
总量控制 | 控制介质总量达到设定值时自动关闭。 |
定时控制 | 在设定时间范围内控制流量。 |
实时记录 | 记录气体流量,支持U盘存取。 |
实时曲线 | 瞬时流量的趋势曲线。 |
介质选择 | 实现一个MFC控制多种气体。 |
分段流量控制 | 气体流量曲线控制 |
注:流量设定与流量读取基本功能可在质量流量控制器实现,其余为高级功能,需选配外接触摸屏控制器实现。 |
控制参数
介质压力(x 0.1MPa) | 02, 04, 06, 08, 10 |
介质温度 | -40~85°C, 可定制-40~200°C |
流量范围 | 0.5SLPM ~ 30SLPM (标气N2) |
流量系数Cv范围 | 4.0x10-4 ~1.6x10-2 |
量程比 | 1:50 |
响应时间 | < 50 ms (10-90% F.S.) |
稳定时间 | < 1s (10-90% F.S.) |
精度 | ±1.5% F.S. |
重复性 | < 0.25% F.S. |
灵敏度 | < 0.1% F.S |
电气参数
比例阀电阻 | 90欧姆 |
比例阀电感 | 25mH |
比例阀开启电压 | 8~10VDC |
比例阀功耗 | < 6Watt |
流量计功耗 | < 0.3Watt |
电源 | 24VDC |
通讯 | RS485 |
机械参数
连接 | 1/8”, 3/8”, 1/2”, 3/4”卡套 |
安装 | 面板安装, 导轨安装 |
尺寸 | 160x147x30 |
重量 | 1.5Kg |
材质
本体 | 铝合金、不锈钢、钛合金 |
内孔 | 铝合金、不锈钢、钛合金 |
阀件 | 不锈钢 |
O圈 | 丁腈、乙烯、丙烯、全氟橡胶、氯丁橡胶、氟化橡胶 |
阀座 | 丁腈、乙烯、丙烯、全氟橡胶、氯丁橡胶、氟化橡胶 |
连接 | 铜或不锈钢 |
注意
要求安装满足要求的过滤器保证气体清洁, 以免造成传感器污染甚至气路堵塞, 影响控制精度;
介质压力需在允许范围内;
流量计上游应保留直管段;
流量控制器以N2作为标气标定, 使用时应根据实气种类进行控制器参数设定;
如用户需要在腐蚀性气体场合下使用质量流量控制器,需订货时事先声明;
流量控制器截止功能不建议长时间使用。 需要长时间截止功能时,应在质量流量控制器两端另设截止阀或电磁阀。
MEMC2300系列流量控制器
MEMC23Axx-Bxx-Cxx-Dxx-Exx-Fxx-Gxx-Hxx | |
A 通径 (mm) | DN03, 06, 08, 10, 15 |
B介质 | A空气, N氮气, O氧气, R氩气, C二氧化碳 |
C 最大流量 (SLPM) | 01, 02, 05, 10, 30 |
D入口压力(x 0.1Mpa) | 02, 04, 06. 08, 10 |
E输出通讯 | 01数字量RS485 |
F本体材质 | 01铝合金, 02铜合金, 03 不锈钢SUS304, 04 不锈钢SUS316, 05 钛合金 |
G 连接 | F法兰连接尺寸, N内螺纹连接NPT尺寸(1/8”, 3/8”, 1/2”, 3/4”) |
H 安装方式 | 01 面板安装, 02 导轨安装 |
选型实例
MEMC2315- N-30-04-02-01-N1/8-01
微纳热式流量控制器2300系列, A通径DN15, B介质为氮气, C最大流量30SLPM, 入口压力为0.4 Mpa, 通讯方式RS485, 本体材料铜合金, 内螺纹NPT连接1/8”, 面板安装。
0123011-01 | 流量计本体密封圈 |
0123012-01 | 流量计壳体面板密封圈 |
0123013-01 | 接头密封圈 |
0123014-Axx-Bxx-Cxx-Dxx | 接头 |
A 通径 (mm) | DN03, 06, 08, 10, 15 |
B 连接 | F法兰尺寸, N内螺纹NPT尺寸 (1/8”, 3/8”, 1/2”, 3/4”) |
C 消声滤器 | 01带消声滤器, 02不带消声滤器 |
D 本体材质 | 01铝合金, 02铜合金, 03 不锈钢SUS304, 04 不锈钢SUS316, 05 钛合金 |
0123015-01 | 面板安装底座 |
0123015-02 | 导轨安装底座 |
0123016-01 | 信号与电源电缆 |
0123017-01 | 24V电源组件 |
0123018-02 | 触屏控制器 |
0123019-01 | 控制箱 |
MEMC2300系列智能质量流量控制器阶跃响应
图1. MEMC2315智能质量流量控制器1~30SLPM阶跃响应曲线
图2. MEMC2315智能质量流量控制器1~10SLPM阶跃响应曲线
MEMC2300A系列 质量流量控制器
-
Tel
-
Tel
-
Message
-
Top
网站地图 | Copyrights ©2020 广州市唯量工控技术有限公司 版权所有 粤ICP备19134267号-1 网站建设:中企动力 广州