mfc质量流量控制器用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制，扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气相色谱仪，光导纤维制造设备中，并广泛应用于石油化工、冶金、制药等行业，特点：精度高，重复性好。

        mfc质量流量控制器是一种新型的流量测量和监测仪器，它可以方便地监测管道中不同空气的流动，无需温度和压力补偿，可以直接用于进行控制系统不同主要包括腐蚀性和复杂的清洁干燥气体，但对于我们使用时，需要通过恰当选择型号和密封材料，采用毛细管传热温差量热法原理检测空气的质量流量(无需温度压力补偿)，主要由分流通道、放大控制器、流量传感器和流量调节阀组成，其中分流决定了主通道的流量。

         mfc质量流量控制器注意以下三点：

         1.怕液体和油进入流量计，造成失控，如果它的出口与液体罐相连，为了避免液体回流，需要在控制器的出口处增加一个止回阀；

         2. 使用潮湿的腐蚀性气体可能会导致不锈钢生锈，因此在使用这种气体之前，需要干燥和管道系统，否则，会损坏质量流量控制器的通道；

         3.防尘，粉尘进入质量流量控制器，会堵塞传感器和分流器，造成测验误差，需在进气口前安装过滤器。

    将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量测验电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀，通过闭环控制来控制通过的流量，并使之与设定的流量相等，与它配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。

      mfc质量流量控制器采用毛细管传热温差量热法原理为量空气的质量流量(无需温度压力补偿)，主要由分流通道、放大控制器、流量传感器和流量调节阀组成，其中分流决定了主通道的流量。